1.材质：Si/SiO2

2.明度：兼容透明/半透明/不透明wafer

3.摆臂扫描范围及速度，升降高度：可设置

4.晶圆传输方式：人工手动传片，干进干出

5.光刻板规格：九寸

6.整机机架：1套

7.清洗干燥单元：1套，C1

8.不锈钢骨架，外壳pp

9.机台配照明装置

10.设备安全保障措施

11.机台配防水底托

12.设备支撑：防腐脚轮、支撑地脚。

13.设备电控区,管路区，槽体安装区均设置维护门

14.排风口：配整机排风口和腔体局部排风口

15.排风可手动分量